大宗气体销售需要本科以上学历,并有相应的工作经验。
具体资质要求包括以下几点:1.大学本科以上学历,化工/化学/环保等专业优先考虑,2.工作年限3年及以上,大宗气体销售业务经验1年以上,3.沟通表达能力良好,思路清晰,有亲和力,愿意经常出差,4.熟练使用office软件,擅长PPT制作和展示,5.普通话标准,英语六级以上。
工作范围:1.负责现有大宗气体客户的合同管理、开票、收款和调价,以及售后服务,2.负责潜在大宗气体客户的需求跟踪洽谈、商务方案制订以及合同签订,3.负责大宗气体新客户的开拓,主要包括现场制氮、现场制氢以及气体回收项目。
特气工程师是什么
半导体工厂Fab使用到的Gas主要分为2类: 大宗气体系统和特种气体系统
大宗气体系统(Bulk Gas): 使用量较大的几种气体,有氮气(N2)、氧气(O2)、氢气(H2)、氩气(AR)、氦气(He)、压缩空气(CDA)。
一、大宗气体系统概述
Bulk Gas System主要由供气系统和管道系统组成,其中的供气系统包含气源、纯化、品质监测等几部分,一般气源设置在独立于生产厂房之外的气站(Gas Yard),而气体的纯化一般设置在生产厂房内专门的纯化间(Purifier Room),这样的目的是可以保证高纯度的气体输送距离减少,既可以保证气体品质,而且可以节约成本。一般高纯度输送气体的管道采用SUS 316L EP级管道。经过纯化的高纯气体从纯化间输送到辅道生产层(Sub Fab)或生产车间的架空地板下,形成配管网络,最后由二次配管系统(Hook up)送至各生产装备。
其中氮气在整个Fab生产制造中使用量最大,根据使用点品质要求不同,又区分为普通氮气(GN2)和工艺纯化氮气(PN2)
N2供应系统示意图
二、大宗气体供气系统
2.1 气体站
2.1.1 首先必须根据工厂所需用气量的情况,选择最合理和经济的供气方式。
概述中已说明使用量最大的是氮气,根据其用量的不同,可考虑采用以下几种方式供气:
1)液氮储罐,用槽车定期进行充灌,高压的液态气体经蒸发器(Vaporizer)蒸发为气态后,供工厂使用。一般的半导体工厂用气量适中时这种方式较为合适,这也是目前采用最多的一种方式。
汽化器Vaporizer
2)采用空分装置现场制氮。这适用于N2用量很大的场合。集成电路芯片制造厂多采用此方式供气,而且还同时设置液氮储罐作备用。
3)氧气和氩气往往采用超低温液氧储罐配以蒸发器的方式供应。
氧气和氩气供应示意图
4)氢气则以气态方式供应,一般采用钢瓶组(Bundle)即可满足生产要求。如用气量较大,则可采用Tube Trailer供气,只是由于道路消防安全审批等因素,目前在国内还很少采用此方式。相信随着我国微电子工业的飞速发展,相关的安全法规会更完善,Tube Trailer供气方式会被更多地采用。如果氢气用量相当大,则需要现场制氢,如采用水电解装置。
氢气和氦气供应示意图
5)氦气以气态方式供应,一般采用钢瓶组(Bundle)即可满足生产要求。如用气量较大,则可采用Tube Trailer/ISO槽车供气。
6)压缩空气主要通过Gas Yard内压缩机产气,干燥机吸附后得到干燥洁净的压缩空气,简称CDA。CDA一般在所有的行业均有使用,半导体Fab使用的压力相对一般行业稍高,常见在8.5bar以上。
在整个气体站,需要特别注意几个问题:
首先,供氢系统和供氧系统的安全性问题是必须予以高度重视的,如气体站的平面布置必须符合国家和行业相关安全规范。
其次,在设计供气压力时不仅要参照最终用户点的压力需求,而且必须考虑纯化器、过滤器以及配管系统的压力降。
2.2气体纯化与过滤
2.2.1气体的品质要求
目前对大宗气体的纯度要求往往达到ppb级,生产工艺线对大宗气体的品质要求较高。
因此,必须用不锈钢管道将大宗气体从气体站送至生产厂房的纯化室(purifier Room)进行纯化,气体经纯化器除去其中的杂质,再经过滤器除去其中的颗粒(Particle)。出于安全考虑,一般将氢气纯化室设计为单独一室,并有防爆、泄爆要求。
2.2.2 纯化器
目前国内采用的气体纯化器都是进口的,主要的生产厂家有SAES、Taiyo、Toyo、JPC、ATTO等。纯化器根据其作用原理的不同可以对不同的气体进行纯化。
一般说来,N2、O2纯化器较多采用触媒吸附式,Ar、H2、He纯化器则以Getter效果最佳,H2纯化器也多采用触媒吸附结合Getter式。
CDA常用加热吸附式干燥机来干燥压缩空气。吸附式干燥机是利用吸附剂(活性氧化铝、硅胶、分子筛)吸附水分的特性来降低压缩空气中水分的含量,一般来说可以使出口气的露点达到-40度以上。
在设计中要注意的是,不同气体纯化器需要不同的公用工程与之相配套。例如,触媒吸附式N2纯化器需要高纯氢气供再生之用;触媒吸附式纯化器需要冷却水。因此,相关的公用工程管线必须在气体纯化间内留有接口。
CDA干燥机后端室内管道需要注意结露问题,很多在设计时未能完全考虑,后期运营时部分管道结露严重,特别是靠近墙面处的管道,对墙面造成一定的影响。
2.3 气体的品质监测
大宗气体在经纯化及过滤后应对其进行品质监测,观察其纯度与颗粒度的指标是否已高于实际的工艺要求。目前着重对气体中的氧含量、水含量和颗粒度进行在线连续监测,而对CO、CO2及THC杂质采用间歇监测,有条件的Fab也会连续监测。测试结果连同其他测试参数(诸如压力、流量等)都会被送往控制室中的SCADA(Supervisory Control and Date Acquisition)系统。同时也可以将数据共享给必要的单位或组织。
2.4 供气系统的可靠性问题
由于微电子行业的投入与产出都是非常的大,任何供气中断都会带来巨大的经济损失。因此在设计中必须充分考虑气体供应系统运行的安全可靠性。若采用现场制气方式,往往还需要设置该种气体的储蓄供气系统作备用。
每一种气体的纯化器都需要有一台作备用。防止在一台纯化器异常时及时切换到备用纯化器。保证气体供应的稳定性。
就是与特殊气体设备打交道的机械工程师扩展:岗位职责
1、负责厂务气体供应系统(含大宗、特殊气体、化学品供应收集等)相关系统工程建设及后期运转维护保养;
2、负责气体供应系统日常运行的技术支持、安全管理等;
3、负责气体供应系统设备设施的维护及保养、应急处置;
4、新人培训及作业流程管理。
任职要求:
1、大专及以上学历,电子、电气、化学、自动化等相关专业;
2、有大宗气体及特气相关工作经验,熟练气体系统运营工作流程;
3、了解空压机、真空、大宗气体及特气的供气流程及供气原理;
4、有过专业气体知识及培训,熟悉行业标准,以及气体主流供应设备的操作、维护和维修;
5、有项目的新建、改扩建工程建设经验,有大宗气体系统新改扩建经验优先。
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